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disco晶圆切割机8020系列(双轴)

宋臻
2023-12-01

disco双轴晶圆切割机8020系列概要:

8020系列切割机有两个对向的主轴,可同时切割晶圆,且产量高。这种高精度系统可切割直径最高8"的工件,性能高。

disco双轴晶圆切割机8020系列特点:

灵活:支持最大3"外径的有轮毂和无轮毂刀片

1.8kW或2.2 kW高功率主轴(适合严苛应用)

高级视觉系统,支持连续变焦缩放

19英寸触摸屏显示器,直观操作界面

disco双轴晶圆切割机8020系列重要特点:

气悬浮轴(X)

快速自动对齐和切割定位,提高产量

自动刀痕检测和质量分析,实现高精度

使用锁定式主轴,更换刀片快速简单

流程数据记录和统计分析

SECS/GEM平台就绪

可接近系统所有区域,便于维护

易于使用

8020使用ADT直观的新图形用户界面(NUI)进行操作,配备了两个触摸屏:19"主屏幕和17"维护屏。维护屏协助执行系统设置过程、刀片更换和基本的维护操作。

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