disco双轴晶圆切割机8020系列概要:
8020系列切割机有两个对向的主轴,可同时切割晶圆,且产量高。这种高精度系统可切割直径最高8"的工件,性能高。
disco双轴晶圆切割机8020系列特点:
灵活:支持最大3"外径的有轮毂和无轮毂刀片
1.8kW或2.2 kW高功率主轴(适合严苛应用)
高级视觉系统,支持连续变焦缩放
19英寸触摸屏显示器,直观操作界面
disco双轴晶圆切割机8020系列重要特点:
气悬浮轴(X)
快速自动对齐和切割定位,提高产量
自动刀痕检测和质量分析,实现高精度
使用锁定式主轴,更换刀片快速简单
流程数据记录和统计分析
SECS/GEM平台就绪
可接近系统所有区域,便于维护
易于使用
8020使用ADT直观的新图形用户界面(NUI)进行操作,配备了两个触摸屏:19"主屏幕和17"维护屏。维护屏协助执行系统设置过程、刀片更换和基本的维护操作。