―全新级别的智能分析场发射扫描电子显微镜(FE-SEM),兼具高分辨率和强大的可操作性―
东京--(美国商业资讯)--日本电子株式会社(JEOL Ltd.) (TOKYO:6951) (www.jeol.com)(总裁兼首席运营官:大井泉)宣布,将于2019年8月推出新型肖特基(Schottky)场发射扫描电子显微镜JSM-F100。
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https://www.jeol.co.jp/en/news/detail/20190804.3456.html
背景
扫描电子显微镜(SEM)应用于不同的领域:纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等。随着应用范围的扩大,SEM用户需要快速、高质量的数据采集及简单的组成信息确认和无缝操作。
JSM-F100搭载我们备受推崇的浸没式(In-lens)肖特基Plus场发射电子枪和"Neo Engine"(电子光学控制系统),以及全新的GUI "SEM Center"和创新的“实时图像视觉增强器-人工智能(LIVE-AI)滤镜”,实现了高空间分辨率成像和可操作性的最优组合。此外,标配的JEOL能量色散型X射线光谱仪(EDS)完全整合于"SEM Center"内,可实现从图像到元素分析结果的无缝采集。JSM-F100提供卓越的工作效率,高出我们之前的JSM-7000系列50%或以上,实现了生产量的显著提高。
特性
规格 | |
分辨率(1 kV) | 1.3纳米 |
分辨率(20 kV) | 0.9纳米 |
加速电压 | 0.01至30 kV |
标准检测器 | 高位电子检测器(UED),二次电子检测器(SED) |
电子枪 | 浸没式肖特基Plus场发射电子枪 |
探头电流 | 几pA至300 nA (30 kV) |
物镜 | 混合式透镜(HL) |
样品台 | 全优中心(eucentric)测角仪样品台 |
样品移动 | X轴:70毫米,Y轴:50毫米,Z轴:2至41毫米 |
EDS检测器 | 能量分辨率:133 eV或更低 |
目标年销量
60台/年
日本电子株式会社
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
大井泉,总裁兼首席运营官
(股票代码:6951,东京证券交易所第一部)